Cu_DT9_Cu疊層材料制備工藝流程
發(fā)布時(shí)間：2021-06-24
Cu_DT9_Cu疊層材料制備工藝流程 | ||
參考工序 | 設(shè)備名稱 | 相關(guān)產(chǎn)品 |
退火 | 管式爐 |
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原料力學(xué)性能檢測 | 蠕變爐 |
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拋光 | 拋光機(jī) |
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切割 | 切片機(jī) |
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鉆孔 | 打孔器 |
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打毛 | 粗拋 |
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清洗 | 超聲清洗機(jī)/臭氧清洗機(jī)/等離子清洗機(jī) |
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干燥 | 真空干燥箱 |
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熱軋制 | 輥軋機(jī) |
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退火 | 管式爐 |
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冷軋 | 輥軋機(jī) |
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性能檢測 | XRD/光學(xué)顯微鏡/蠕變測試/TGA |
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