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1200℃三溫區旋轉爐
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1200℃三溫區回轉爐(加熱區600mm)
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1200℃雙溫區旋轉CVD爐
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1200℃小型雙溫區旋轉管式粉末cvd爐
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電動壓力機 (分體式)
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24T實驗壓機(液壓泵與主機分體&安全防護罩)
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1200℃小型開啟式高溫力學測試系統(含萬能試驗機,具備拉伸等功能)
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1200℃五面加熱氫氣箱式爐(爐膛尺寸:500*500*500mm)
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1400℃箱式爐(硅碳棒,容積: 64L, 爐膛尺寸:400*400*400mm)
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1100℃小型箱式熱重分析爐(配高精度集成稱量系統、定制石英承燒板)
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2600℃高真空快速升溫熱壓爐(200℃/S,標準、加壓和可視化法蘭上蓋,壓力0-50kg)
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1700℃十二溫區開啟式管式爐(1400mm加熱區,管徑100mm)
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小型自動化壓片系統(6個樣品,最大壓力8T)
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自動化6通道粉料分配系統(6個固態源,1個液體源)
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2000℃手套箱感應熔煉系統(15KW感應電源,水氧含量《0.1PPM)
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反射膜厚儀
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EQ-W2000-LD
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EQ-W1000-LD
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EQ-W1000-Sensor-LD
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1200℃自動化智能化CVD系統(化學氣相沉積系統:含自動化管式爐,4通道混氣裝置和低真空恒壓控制真空機組)
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自動循環氣體凈化系統(O2<1ppm,帶溫控系統)
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自動循環氣體凈化系統(O2&H2O<1ppm,用于手套箱)
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小型不銹鋼真空手套箱(帶有自動氣壓控制系統)
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自動循環水分凈化系統(H2O<2ppm,用于手套箱)