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旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)與雙連體循環(huán)手套箱(H2O & O2< 0.1ppm,下沉式儲(chǔ)藏箱)
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手套箱內(nèi)磁控濺射儀(3靶濺射儀,DC/RF電源)
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混合式PVD鍍膜儀(連接手套箱,2英寸射頻濺射儀+2源蒸發(fā)鍍膜儀)
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1500℃開(kāi)啟式管式爐配雙連體手套箱(帶循環(huán)凈化系統(tǒng))
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1200℃三溫區(qū)管式爐與手套箱(帶有凈化系統(tǒng))連接
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1700℃箱式爐(容積64L ,爐膛尺寸:400*400*400mm)
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高速旋渦式混料機(jī)(加熱或水冷夾層,可選容積5L-130L)
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1200℃氣霧化立式熱分解爐(管徑Φ100*1560mm,加熱區(qū)900mm)
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KF-50快速裝卸卡箍
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KF-40快速裝卸卡箍
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KF-25快速裝卸卡箍
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KF-16快速裝卸卡箍
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PTFE潤(rùn)滑噴霧(用于各種干壓模具)
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加熱帶(帶溫控控制器,最高溫度250℃)
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加熱帶(長(zhǎng)254mm,帶熱電偶,最高溫度 760℃)
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480℃加熱圈(帶可編程溫度控制器)
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200℃加熱護(hù)套(帶有溫度控制器,適用于干壓模具)
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石墨開(kāi)瓣干壓模具(內(nèi)徑12.7mm,適用于SPS和RHP設(shè)備)
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氧化鋁推桿(1對(duì))
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高溫合金模具(內(nèi)徑12.7mm,最高溫度400℃)
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加熱模具(內(nèi)徑12.7mm,帶溫度控制器,最高400℃)
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碳鋼加熱模具(帶溫度控制器,最高280℃)
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鋁合金壓制模具(50×101×25mm)
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干壓模具(內(nèi)徑120mm)