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1350℃溫控型插入式蒸發(fā)源
關(guān)鍵字：
帶有磁流體密封，KF50法蘭，針對于PVD實(shí)驗(yàn)
型號：
GSL-1350X-ISE
產(chǎn)品概述：
GSL-1350-ISE是一款溫控型可插入式蒸發(fā)儀，適用于蒸發(fā)各種金屬和有機(jī)材料，其最高溫度可達(dá)1350℃。采用磁流體密封，可保證在旋轉(zhuǎn)的腔體中進(jìn)行PVD實(shí)驗(yàn)。KF50的旋轉(zhuǎn)式快接法蘭，可非常方便地與各種真空腔體對接。此模塊還配有一進(jìn)氣閥，用于通入氣體對腔體進(jìn)行清洗和排氣，保證樣品在蒸鍍過程中不被氧化。
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結(jié)構(gòu)?&?特點(diǎn)

此蒸鍍系統(tǒng)升溫可以手動和自動兩種模式。手動模式可以快速加大電流，達(dá)到快速加熱蒸發(fā)，但溫控性較差。自動控制控溫較準(zhǔn)確。

 

采用鎢線圈加熱，氧化鋁坩堝裝料，其最高溫度可達(dá)1350℃

 

精確控溫，可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度可達(dá)+/- 1 oC

 

Φ6.35mm進(jìn)氣口，可向蒸鍍腔體中通入氣體

   wps264.png
電源

電壓：208 - 240 VAC 50/60 Hz, 單相, 500W
? 溫控系統(tǒng)?&?加熱源

最高工作溫度: 1350oC (<1hr)., 連續(xù)工作溫度：1200℃

 

500WDC蒸發(fā)電源，最大電流30A

 

鎢絲加熱，S型熱偶測溫，氧化鋁坩堝裝樣

 

溫控系統(tǒng)可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度：+/- 1 oC

 

建議升溫速率< 30 oC/min

 

若長期工作在800℃以上，必須用高溫棉填滿耐火保溫層與坩堝之間的間隙。可減少鎢絲加熱元件的損耗。

    wps265.png   wps266.png
樣品坩堝

配有0.7ml的氧化鋁坩堝

 

S型熱電偶嵌在坩堝底部，用于精確測量加熱溫度
進(jìn)氣口

6.35進(jìn)氣口，用于向蒸鍍腔體中通入氣體

 

一個針閥安裝在進(jìn)氣口后端，用于控制其氣體流量
可選

可選購快接法蘭,接口為KF50，可與Φ50mm爐管對接

    wps267.png   wps268.png
質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)
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