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4英寸氣體分散噴頭（用于DIY ALD/CVD系統）
- 型號：
- SH-4
- 產品概述：
- SH-4是一款氣體分散噴頭，了將前驅氣體非常均勻地傳輸到ALD或CVD腔體。此款產品非常適用到大尺寸基片上（最大4英寸），采用CVD法成膜。
免責聲明：
本站產品介紹內容（包括產品圖片、產品描述、技術參數等）僅用于宣傳用途，僅供參考。由于更新不及時和網站不可預知的BUG可能會造成數據與實物的偏差，請勿復制或者截圖。如果您對參數有異議，或者想了解產品詳細信息及更多參數，請與本公司銷售人員聯系。本站提供的信息不構成任何要約或承諾，請勿將此參數用于招標文件或者合同，科晶公司會不定期完善和修改網站任何信息，恕不另行通知，請您諒解。
如果您需要下載產品的電子版技術文檔，說明書（在線閱覽），裝箱單，與售后安裝條件等文件，請點擊上方的附件下載模塊中選取。商城產品僅針對大陸地區客戶，購買前請與工作人員溝通，以免給您帶來不便。
技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
| 產品名稱
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4英寸氣體分散噴頭-SH-4 （2020.12.05——科晶實驗室審核） |
| 產品提示
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1.多種配件可選提示 2.科晶實驗室邀請提示 3.配件妥善保管提示 |
| 技術參數
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·材料：頂部法蘭為304不銹鋼，底部噴頭為鋁合金 ·密封圈：硅膠密封圈 ·氣管接口：外徑14mm,內徑6.35mm ·噴頭孔徑：Φ0.5mm ·噴頭流道：特殊的流道設計，確保氣體/蒸汽均勻的分散和傳輸
 
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| 外形參數
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| 認證
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若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。
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| 質保
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·一年保修，終身技術支持。
·特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 ·點擊查看售后服務承諾書。
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