| 設備名稱型號 | 恒壓控制系統GZK-PID-VRD24 (科晶實驗室、科晶技術部2022.6.15審核） |
| 產品特點 | · PLC、觸摸屏控制，觸摸屏顯示真空度及各項工作狀態，一鍵式操作，方便快捷。 · 通過變頻器來PID調節真空泵的電機轉速從而控制抽氣速率，使抽氣速率與進氣量、漏氣率相匹配，從而達到精確的恒壓控制 · 600*600的承重臺面，可配合科晶其他設備使用，節省空間 |
| 真空泵 | · 型號:VRD-24 · 電源：220V 50/60HZ · 進氣口：KF25 · 抽速：50HZ:6.6L/S 60HZ:7.9L/S · 功率：50HZ:1.1KW 60HZ:0.75KW · 極限真空：4*10-1Pa（不帶負載） |
| 變頻器 | · 輸入：AC220V · 輸出：3*AC380V |
| 數顯防腐真空計 | · 型號：PGC-554 · 電源：DC24V · 測量范圍：3.8E-5-1125torr
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| 操作面板 |
界面上帶真空顯示值和設定值，一鍵式操作，方便快捷 |
| 壓力恒定控制范圍 | 壓力恒定控制范圍(進氣氣氛為氬氣)： 760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照進氣量為500sccm） 600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進氣量為300sccm） 300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進氣量為100sccm） 180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進氣量為50sccm） 壓力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10） ＞2.5torr-----10torr（±%40） ＞10 torr------200torr（±%5） |
| 外形尺寸 | 600*600*700mm
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| 重量 | 98KG |
| 保質期 | 1年（不包含爐管，硅膠O型圈和加熱元件等損耗件） |
| 可選 | ·不銹鋼高真空泵前級顆粒過濾器 FPTA-6-LD
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皖公網安備 34012302000974號
