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供氣系統GSL-3F
關鍵字:
三通道混氣、惰性氣體
型號:
GSL-3F
產品概述:
GSL-3F是一款三通道混氣系統,用于惰性氣體的控制,可用于小型管式爐、手套箱、等離子清洗機、小型PECVD系統等
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設備名稱型號

供氣系統 GSL-3F

產品特點

· 適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續供氣系統。尤其方便多種氣體的切換使用,而不會造成大氣進入加熱管。

· 氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀,外形美觀、實用,操作簡便。

· 顯示流量準確,可有效控制氣體的消耗量

· 設備底部有滾動輪,方便移動

· 使用方便,無需通電

基本參數

· 浮子流量計量程:16-160ml/min、10-100ml/min、25-250ml/min

· 精度:4%

· 壓力表量程:-0.1-0.15MPa

· 通氣管道:φ6.35mm的聚四氟管

混氣罐

· 內置一個不銹鋼混氣罐,可更好的混合氣體

· 混氣罐尺寸:直徑76*長154mm 

氣口與閥門

· 背面的進氣與出氣口均為φ6.35的卡套接頭,進氣口通過四氟管連接氣瓶,出氣口通過四氟管連接到設備的進氣口

· 兩個通道氣體進入混氣罐混氣,一個氣體通道獨立

· 前面板的四個不銹鋼針閥控制氣體的進出,獨立通道的進出氣不受針閥控制

圖片2.png

設備外形尺寸

600mm(L)*600mm(W)*650mm(H)

圖片3.png

重量

75KG

質保

一年保修,終身技術支持

· 因人為損壞或操作不當造成的損壞不在保修范圍內

· 因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內

注意事項

· 氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,開啟減壓閥時應注意其工作壓力使其PMAX<0.01MP,以免壓力過大造成氣路損壞

· 本設備不建議,不提倡使用,易燃易爆、有毒有害氣體。如果不采納我公司的建議,在使用過程中,出現人生安全及設備的損壞,本公司該不負責。

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