- 加熱爐設(shè)備
- 晶體及材料
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- 薄膜制備
- 配件
- 其它實(shí)驗(yàn)室設(shè)備
1400℃微波等離子熱壓爐(微波SPS,100MPa)
- 型號(hào):
- WE-SPS-1400
- 產(chǎn)品概述:
- WE-SPS-1400是一款微波加熱等離子熱壓爐(微波SPS),最高溫度1400℃,最高壓強(qiáng)100MPa,最大升溫速率可達(dá)100℃/min。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
電源要求
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· 208 - 240 VAC, 50/60Hz, 單相 · 2.45 GHz ±25 MHz · 微波功率: 2500 kW
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壓機(jī)&模具
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· 電動(dòng)壓機(jī):精密伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)加壓,最大壓力可達(dá)5T · PID方式控制恒壓,控制精度±0.5kg · 配有一個(gè)Si3N4模具,直徑12.75mm · 最大壓強(qiáng)可達(dá):100MPa · 可選購(gòu)石墨和石英材質(zhì)模具 
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真空腔體
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· 不銹鋼真空腔體,尺寸Φ350×350mm · 一個(gè)石英觀察窗口:Φ120mm · 腔體后部一個(gè)KF25和KF40接口,用于連接真空泵 · 真空度: 10-3torr(采用機(jī)械泵),10-5torr(采用分子泵) · 可在本公司購(gòu)買各種真空泵
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加熱源
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· 采用SiC泡沫陶瓷作為加熱元件,為吸波升熱材料 · Ar環(huán)境,真空度達(dá)到1-10torr,腔體內(nèi)可產(chǎn)生等離子體,增強(qiáng)樣品燒結(jié) 
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溫控系統(tǒng)
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· 可設(shè)置30段溫度段 · 帶有超溫和斷熱電偶保護(hù) · 控溫精度 +/-2 oC
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水冷機(jī)(可選)
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· 需要一個(gè)循環(huán)水冷機(jī)對(duì)微波發(fā)生器進(jìn)行冷卻 · 可購(gòu)買本公司循環(huán)水冷機(jī)KJ-5300
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產(chǎn)品尺寸
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