設備名稱型號 | · 2900℃超快速高真空熱壓爐 RTP-MS |
產品特點 | · 不銹鋼水冷腔體,真空度可達2x10-2torr(機械泵),5x10-5torr(分子泵) · 加熱元件:石墨片作為加熱元件,最高溫度可達到 2900℃ · 兩個加熱元件之間的間隙可根據不同的樣品厚度進行調整 · 上部配置的手動加壓機構可應用于熱壓樣品; · 采用高精度紅外測溫儀測量溫度 |
基本參數 | · 電源:三相AC 380-400V 50/60HZ · 功率:30 KW · 最大輸出電壓和電流:DC20V,1500A · 最高加熱溫度:石墨片2900℃(≤30s) 溫度時間對應表(僅供參考) · 加熱元件:石墨片(標配平面石墨片,可選配帶坩堝石墨片) (可選配鎢加熱片) · 最快加熱速率:≤180℃/s · 最大壓力:100KG 儀表顯示壓力,手動壓力調節范圍10-100千克 |
真空水冷腔室 | · 材質:304不銹鋼 · 尺寸:外徑φ345*內徑φ315*L380mm · 內部石墨氈保溫 · 一個不銹鋼法蘭蓋安裝在腔體上。KF40的接口上安裝了一根可伸縮波紋管,波紋管頂部安裝的支撐桿調節裝置用于手動調節壓力 · 紅外測溫儀通過法蘭蓋上一個φ35mm觀察窗探測樣品的溫度 · 腔體右側兩個φ6.35的卡套接頭進氣口,一個用于通入惰性氣體,一個備用。進氣口通過設備右側的精密調節閥控制進氣流量。腔體左側有兩個φ6.35的卡套接頭作為排氣口,排氣口通過不銹鋼針閥控制通斷 · 兩根M24的陶封電極安裝在底部法蘭上,石墨片安裝在電極支撐柱上的石墨螺桿上,樣品放置在兩個石墨片之間。通過上下擠壓的方式對樣品施加壓力 |
溫控系統 | · 使用紅外測溫儀檢測溫度,紅外測溫儀溫度測量范圍:1000-3000℃ · 測量精度:±(0.5% FS+2℃),重復精度:±0.3% FS · 控溫方式:手動控溫和程序控溫(通過“手動/自動切換開關”切換) · 手動控溫:通過右側面板上的電流調節旋鈕調節電流值,從而調節溫度 · 程序控溫:安裝了一個數顯溫度控制器,可設置30段升降溫程序,恒溫控溫精度為±3℃ · 溫度控制器的時間設置以秒為單位 |
進、出氣 | · 設備左側的KF40接口為抽氣口,抽氣口上安裝了一個KF40-KF16-KF40mm三通。三通上的KF16接口安裝真空計,用于觀察腔室內的壓力。三通上的KF40接口用于連接波紋管與真空泵。真空泵上可安裝手動擋板閥 · 設備右側面有一個精密微量調節閥,用于調節進氣流量。有一個手動調節旋鈕,調節加熱電流。有個手動/自動切換開關,切換手動控溫和程序控溫 |
皮拉尼真空計(選配) | · 測量范圍:1*10-4 mbar—1000 mbar(1*10-4—750 torr) · 準確度:1000mbar—20 mbar(讀數的30%) 20—0.002mbar (讀數的2%) · 重復性:20—0.002mbar (讀數的2%) · 使用濕度:30℃環境下≤80% 40℃環境下≤50%無冷凝氣體 · 使用溫度:5℃—60℃ |
水冷系統(選配) | · 型號: CW-6300 · 電源: AC 220 一 240V 50Hz · 工作電流 :3.4-18.1A · 制冷量: 26826Btu/h 7.86KW 6758Kcal/h · 水箱容量: 40L · 最大流量: 75L/min · 重量:約165KG · 機器尺寸: 55×810×1170mm﹙L×W×H﹚ |
真空系統(選配) | · 型號:VRD-24 · 抽氣速率:6.6 L/S · 電機功率:1100 W · 極限壓強:4×10-1Pa(不帶負載) · 實際壓強:≤3 Pa(帶上密封法蘭,冷態下機械泵抽20分鐘) · 如果想要獲得更高的真空度(10-5torr 或更高)可選購國產或進口高真空機組 |
設備外形尺寸 | · 1100mm(L)* 750mm(W)* 1870mm(H) |
凈重 | · 約300KG |
質保 | · 一年保修,終身技術支持 · 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損失不在保修范圍內。 |
使用注意事項 | · 爐管內氣壓不可高于0.02MPa(相對氣壓) · 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向石英管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全; · 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等) · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題,本公司概不負責 |