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熱壓機
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1200℃小型三溫區開啟式管式爐（可選爐管直徑25/50/60）
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1600°C經濟型箱式氫氣爐（16”x16”x16”（65 L））
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750℃&5T無油壓機(135mm×135mm）
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1400℃箱式爐（500×500×500mm，容積：125L）
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精密多功能研磨拋光機
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高速自動化學機械拋光機（CMP,300mm底盤,配自動送料器）
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800℃立式超聲霧化輔助CVD系統
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1300℃高壓助溶劑法晶體生長爐
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皖公網安備 34012302000974號
