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1600℃頂吹氫氣還原系統(tǒng)
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400℃感應(yīng)加熱區(qū)熔多功能爐（配備900℃管式爐模塊，爐管φ25*750mm)）
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1100℃熱重分析管式爐（Φ100mm爐管、配旋轉(zhuǎn)夾具、精度1mg、量程420g）
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1200℃三溫區(qū)尾氣過濾旋轉(zhuǎn)爐（Φ130mm異形石英管、配備冷阱與真空管路加熱帶）
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1200℃升華沉積收集系統(tǒng)
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1100℃小型高溫感應(yīng)加熱/熔煉系統(tǒng)
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大口徑管式爐連接手套箱系統(tǒng)
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1200℃頂部籽晶法晶體生長爐
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大型500℃熱循環(huán)烘箱（2.6×1.3×1.4m,4732L,程序化控溫）
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1100℃磁場爐（外徑Φ100mm）
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四電弧單晶生長系統(tǒng)（4電弧熔樣品，3000℃，可轉(zhuǎn)動水冷銅坩堝）
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1200℃&130管徑mistcvd系統(tǒng)
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1400℃爐門和門堵一體化箱式爐（MAX:1400℃，容積：36L，高溫開門取放樣，無門堵）
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1400℃爐門和門堵一體化箱式爐（MAX:1400℃，容積：19L，高溫開門取放樣，無門堵）
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1200℃雙爐氫化物氣相外延系統(tǒng)（HVPE）
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1400℃爐門和門堵一體化箱式爐（MAX：1400℃，容積：3.4L，高溫開門取放樣，無門堵）
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1400℃爐門和門堵一體化箱式爐（MAX:1400℃，容積：8L，高溫開門取放樣，無門堵）
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1200℃梯度可調(diào)提拉式晶體爐
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900℃雙溫區(qū)旋轉(zhuǎn)CVD爐（配備不銹鋼異形耐壓管，最大壓力0.1MPa)
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1200℃手套箱連體管式爐系統(tǒng)
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10T電動無油壓力機
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分體式蒸發(fā)鍍膜儀（可放入手套箱）
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1200℃高溫霧化熱腐蝕爐
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1100℃&6英寸CVD系統(tǒng)（鈦合金法蘭、防腐型）
皖公網(wǎng)安備 34012302000974號
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