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  • 1200℃小型三溫區開啟式管式爐(可選爐管直徑25/50/60)
  • 下裝載爐 (爐膛尺寸500*500*500mm,125L)
  • 1600°C經濟型箱式氫氣爐(16”x16”x16”(65 L))
  • 750℃&5T無油壓機(135mm×135mm)
  • 1400℃箱式爐(500×500×500mm,容積:125L)
  • 精密多功能研磨拋光機
  • 高速自動化學機械拋光機(CMP,300mm底盤,配自動送料器)
  • 800℃立式超聲霧化輔助CVD系統
  • 1300℃高壓助溶劑法晶體生長爐
  • 1750℃箱式爐(爐膛尺寸:150×150×150mm,3.4L)
  • 行星式球磨機
  • 500℃鼓風干燥箱(1200L,可程序化控溫)
  • 250℃數顯溫控型鼓風干燥箱(420L)
  • 回轉爐
  • 250℃數顯溫控型鼓風干燥箱(136L)
  • 250℃數顯溫控型鼓風干燥箱(12L)
  • 1200℃小型流化床CVD爐(帶1英寸外徑石英管和法蘭,用于粉末CVD)
  • 點焊機
  • 1700℃爐門和門堵一體化箱式爐(MAX:1700℃,容積:3.4L,高溫開門取放樣,無門堵)
  • 1700℃爐門和門堵一體化箱式爐(MAX:1700℃,容積:19L,高溫開門取放樣,無門堵)
  • LiPSCl-Ⅱ 鋰磷硫氯粉
  • 紫外臭氧清洗機
  • 無人化材料固相合成平臺
  • 1100℃雙工位手套箱加熱爐系統

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