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小型真空箱式爐 (6L,1050℃,配溫度控制器)
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1200℃滑動管式爐(管徑130mm)
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可連續型全自動氣淬管式爐
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小型分體式磁控濺射儀(50mm靶頭,可選直流或射頻電源,手套箱內可用)
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STX-600系列金剛石線切割機
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1500℃三溫區回轉爐(配自動進料和接收系統)
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PECVD系統
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500oC&5T精密電動無油平板熱壓機 (135mmx135mm)
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立式管式爐
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1700℃高溫箱式爐帶觀察窗(8L,爐腔尺寸:200*200*200mm)
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1600℃超聲霧化CVD管式爐
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固態電池原位壓力變化測試系統
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手動壓力機
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1500℃雙溫區回轉爐(配60mm氧化鋁管)
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1600℃三溫區下裝載箱式爐(72L,爐腔尺寸:400*400*450mm)
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1200℃高通量自動化管式爐 (130mm,可配機械手實現自動裝載)
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小型燃料電池試驗用管式爐(20mm,1000℃)
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雙極真空泵
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固態電池模具手動加壓裝置
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1600℃Mist/LPCVD系統(216mm石英腔室)
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200℃異步垂直熱軋機 (壓力顯示,100*100mm)
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滑動式三溫區管式爐PECVD系統
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管徑130滑動式單溫區管式爐PECVD系統
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三溫區搖擺管式爐