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  • 1500℃自動化管式氫氣爐 (配50mm氧化鋁管)
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  • 智能可滑動管式PECVD系統 (雙溫區,1200oC max, 80 管徑)
  • 混合式涂布機
  • 粉體球化爐
  • 1英寸雙靶射頻磁控濺射鍍膜儀
  • 1500℃ 8通道管式爐
  • 緊湊型高精度反射膜厚儀系列
  • 氮化硅加熱模具(內徑12.7mm,帶溫度控制器,最高溫度550℃)
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