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小型離心式 行星混料/球磨機 （30 ，80，100ml微型罐可選）
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AlN薄膜
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狹縫擠出式涂布機
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1700℃管式爐系列（290 mm加熱區，帶 60 或 80 mm 外徑剛玉管和法蘭）
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小型三輥軋機 （適用于高粘度漿料）
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5T電動無油壓力機 （帶數字可編程壓力控制器,兼容AR氣體）
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碳化鎢球磨罐
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超聲霧化造粒收集系統
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1700℃搖擺管式爐（60mm氧化鋁管）
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1050℃防腐型箱式爐（7.2L，高鋁腔室：200*300*120mm）
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1200℃七溫區開啟式管式爐
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小型粉末PVD濺射儀 (配直流磁控濺射,樣平臺可振動)
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混合式制膜器：刮刀（150mm）+擠壓頭（100mm）
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8工位高通量磨罐（25ml/工位，適用于MSK-SFM-15或SFM-1/15球磨機）
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金剛石曲線切割機
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數控全自動金剛石線切割機（最大樣品尺寸53mm）
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全自動金剛石線切割機
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金剛石線切割機
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循環式精密金剛石線切割機
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4路質子混氣管式PECVD系統（帶滑軌、labview）
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1700℃晶體生長爐（適用于TSSG，爐腔尺寸：Φ240*300mm）
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500℃真空層壓機
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1400℃箱式爐（36L，爐腔尺寸：300*400*300mm）
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1700℃大型下裝載氣氛箱式爐（216L，爐腔尺寸：600*600*600mm）
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皖公網安備 34012302000974號
