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小型離心式 行星混料/球磨機 (30 ,80,100ml微型罐可選)
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AlN薄膜
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狹縫擠出式涂布機
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1700℃管式爐系列(290 mm加熱區,帶 60 或 80 mm 外徑剛玉管和法蘭)
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小型三輥軋機 (適用于高粘度漿料)
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5T電動無油壓力機 (帶數字可編程壓力控制器,兼容AR氣體)
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碳化鎢球磨罐
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超聲霧化造粒收集系統
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1700℃搖擺管式爐(60mm氧化鋁管)
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1050℃防腐型箱式爐(7.2L,高鋁腔室:200*300*120mm)
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1200℃七溫區開啟式管式爐
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小型粉末PVD濺射儀 (配直流磁控濺射,樣平臺可振動)
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混合式制膜器:刮刀(150mm)+擠壓頭(100mm)
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8工位高通量磨罐(25ml/工位,適用于MSK-SFM-15或SFM-1/15球磨機)
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金剛石曲線切割機
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數控全自動金剛石線切割機(最大樣品尺寸53mm)
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全自動金剛石線切割機
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金剛石線切割機
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循環式精密金剛石線切割機
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4路質子混氣管式PECVD系統(帶滑軌、labview)
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1700℃晶體生長爐(適用于TSSG,爐腔尺寸:Φ240*300mm)
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500℃真空層壓機
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1400℃箱式爐(36L,爐腔尺寸:300*400*300mm)
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1700℃大型下裝載氣氛箱式爐(216L,爐腔尺寸:600*600*600mm)