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  • 狹縫擠出式涂布機
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  • 5T電動無油壓力機 (帶數字可編程壓力控制器,兼容AR氣體)
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  • 1700℃搖擺管式爐(60mm氧化鋁管)
  • 1050℃防腐型箱式爐(7.2L,高鋁腔室:200*300*120mm)
  • 1200℃七溫區開啟式管式爐
  • 小型粉末PVD濺射儀 (配直流磁控濺射,樣平臺可振動)
  • 混合式制膜器:刮刀(150mm)+擠壓頭(100mm)
  • 8工位高通量磨罐(25ml/工位,適用于MSK-SFM-15或SFM-1/15球磨機)
  • 金剛石曲線切割機
  • 數控全自動金剛石線切割機(最大樣品尺寸53mm)
  • 全自動金剛石線切割機
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  • 循環式精密金剛石線切割機
  • 4路質子混氣管式PECVD系統(帶滑軌、labview)
  • 1700℃晶體生長爐(適用于TSSG,爐腔尺寸:Φ240*300mm)
  • 500℃真空層壓機
  • 1400℃箱式爐(36L,爐腔尺寸:300*400*300mm)
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